В инновационных сухих насосах Edwards применяются передовые технологии, специально разработанные для улучшения условий производства полупроводников и электроники. Все серии насосов имеют специальную конструкцию, которая обеспечивает улучшение экологических показателей, повышает надежность при эксплуатации в сложных условиях и гибкость применения для облегченных режимов работы.

Серия iXM — низкое потребление энергии

Использование сухих насосов iXM с низким энергопотреблением позволяет существенно оптимизировать технологический процесс за счет увеличения времени бесперебойной работы, снижения воздействия на окружающую среду и сокращения затрат при эксплуатации критически важного оборудования.

• Энергоэффективный механизм Рутса позволяет снизить потребляемую мощность почти на 60 %, уменьшает вредное воздействие на окружающую среду и снижает стоимость владения
• Благодаря газовому уплотнению и более точному тепловому расчету коррозионная стойкость новых насосов в четыре раза выше, чем у изделий предыдущих серий
• Улучшенные возможности работы с порошковыми материалами обеспечивают максимальную надежность и продлевают срок службы насосов, используемых для многослойного травления, а также позволяют снизить потребление энергии в процессе химического осаждения из газовой фазы (CVD)
• Компактная и легкая конструкция в сочетании с исключительно низким уровнем шума и вибрации обеспечивает большую универсальность применения
• Варианты исполнения с применением технологии Xcede, обеспечивающей повышенную коррозионную стойкость.

Серия iXH — для жестких условий эксплуатации

Сухие насосы iXH устанавливают новые стандарты технологических возможностей, надежности и сокращения стоимости владения для оборудования, используемого в тяжелых условиях.

• Широкий диапазон рабочих температур позволяет оптимизировать работу насоса, чтобы сократить осаждение побочных продуктов из конденсата и материала покрытия
• Сухие насосы iXH Mk2 отличаются еще большим сроком службы в самых жестких условиях, а их применение значительно повышает эффективность использования энергии
• Инновационная технология уплотнения насоса позволяет увеличить продолжительность технологического процесса и снизить вероятность утечек
• Варианты исполнения с применением технологии Xcede, обеспечивающей повышенную коррозионную стойкость.
• Серия iXL — для облегченных режимов работы

• Сухие насосы iXH устанавливают новые стандарты технологических возможностей, надежности и сокращения стоимости владения для оборудования, используемого в тяжелых условиях.
  
  

  • Широкий диапазон рабочих температур позволяет оптимизировать работу насоса, чтобы сократить осаждение побочных продуктов из конденсата и материала покрытия
  • Сухие насосы iXH Mk2 отличаются еще большим сроком службы в самых жестких условиях, а их применение значительно повышает эффективность использования энергии
  • Инновационная технология уплотнения насоса позволяет увеличить продолжительность технологического процесса и снизить вероятность утечек
  • Варианты исполнения с применением технологии Xcede, обеспечивающей повышенную коррозионную стойкость.